高真空抽气机储气罐
* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-06-24 0:33:58 * 浏览: 0
小型扩散泵高真空泵单元通常配备有储气罐，该储气罐安装在扩散泵和前级泵之间，以存储从扩散泵排出的气体。设置储气罐的原因有：。真空系统工作时，某些过程需要严格的防震措施，因此机械泵需要停止工作一段时间。在此期间，从扩散泵排出的所有气体都存储在储气罐中。储气罐取代了机械泵，以维持扩散泵的正常运行。为此，储气罐的容积V为②。为缩短工作周期，安装了储气罐。一些生产过程要求将真空室放置在大气中以交换成分并充电，而无需关闭扩散泵加热器。装载后，用机械泵对真空室进行预抽空，在此期间，空气存储箱用于维护扩散泵。这种储气罐容积的计算公式与公式（9-28）相同。此时，Q是扩散泵阀关闭后储气罐的气体负荷（泄漏和流出），t是机械泵对真空室进行预抽空的时间，其他符号与（9-28）。 ③为防止真空室内瞬间大的放气影响扩散泵的正常运行，设有储气罐。在生产过程中的一定时间段内，气体释放量特别大，但时间短。如果此时配备z *大排量的机械泵是不经济的，则可以配置前级储气罐，以便在使用z *大排量来存储一部分气体时使用。避免扩散泵的前级压力超过临界前级压力。前级油箱容积的计算与（9-28）相同。但是，在设计这种前级箱时，应满足以下关系：④为了稳定扩散泵的出口压力并设置气箱。机械泵的排气是脉冲式的，尽管频率不高（通常约为7倍/秒），但也会引起扩散泵出口压力的波动，安装储气罐可以减少这种情况。波动。
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